溫水系統為電子束爐及其組件提供并回收溫水，以防止爐體在抽真空狀態下，空氣中水凝結而影響爐體抽真空速度。溫水系統包括現場儀表、儲水罐、泵組、過濾器、加熱器、智能溫度控制系統、智能控制閥組系統、以及其他各種輔助元件。溫水系統作為一個完整的機械撬塊組件組裝在底座上。